微粒子在通过微孔滤膜时，由于筛分的作用，为滤膜表面和膜内空间孔道所拦截，但是对于气体过滤而言，由于滤膜具有较大的表面积和较高的电阻，会产生静电，比微孔滤膜孔径小的微粒子会被滤层吸附，使得滤膜去除粒子的能力得到增强，因此可以捕集到比滤膜孔径更小的带电微粒，孔径为0.3微米的微孔滤膜对更小的带电荷铅粒子的捕集效率比粒径较大的不带电荷的石英粒子捕集效率要高，实验证明，它甚至可以捕集到其孔径1/10大小的带电荷粒子。